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德國gbs光學輪廓儀產品特點與用途
點擊次數:186 更新時間:2025-08-07
 

德國GBS光學輪廓儀技術解析

 

一、品牌與產品概述

德國GBS metrology GmbHGBS計量有限公司)是一家專注于光學測量技術的企業,總部位于德國伊爾梅瑙(Ilmenau)。該公司主要研發和生產基于白光干涉(WLI)技術的表面形貌測量設備,廣泛應用于工業檢測、科研及質量控制領域。GBS的光學輪廓儀以高分辨率、快速測量和良好的適應性為主要特點,適用于多種材料表面的微觀形貌分析。

 

二、產品類型

GBS的光學測量產品線涵蓋多種類型,主要包括:

? smartWLI GBScope–基礎型光學輪廓儀,適用于實驗室和工業檢測

? smartWLI GBScanner–高速掃描型光學輪廓儀,支持大范圍拼接測量

? smartWLI InLineSensor–集成式干涉傳感器,適用于自動化在線檢測

? smartWLI LabSystem–實驗室專用高精度測量系統

? smartWLI Pro–高性能光學輪廓儀,適用于復雜表面測量

? smartWLI Compact–緊湊型光學輪廓儀,適合空間受限環境

? smartWLI MultiSensor–傳感器集成系統,支持多種測量模式

? smartWLI HighSpeed–高速測量系統,適用于動態檢測需求

? smartWLI LargeArea–大視場測量系統,支持超大面積掃描

? smartWLI Custom–定制化光學輪廓儀,滿足特殊應用需求

 

三、主要型號與技術參數

GBS的光學輪廓儀型號豐富,不同型號適用于不同測量需求,以下是部分代表性型號及其技術參數:

型號

測量范圍 (XYZ)

垂直分辨率

橫向分辨率

物鏡倍率

測量速度

GBScope 100

100×100×50 mm3

<1 nm

~0.3 µm

2.5×–115×

13 s/scan

GBScanner 300

300×300×100 mm3

<1 nm

~0.5 µm

2.5×–50×

25 s/scan

InLineSensor 50

50×50×20 mm3

<1 nm

~0.4 µm

5×–50×

<1 s/scan

LabSystem 200

200×200×80 mm3

<0.5 nm

~0.3 µm

2.5×–115×

14 s/scan

Pro 150

150×150×60 mm3

<0.5 nm

~0.3 µm

×–100×

13 s/scan

PCompact 80

80×80×30 mm3

<1 nm

~0.5 µm

5×–50×

12 s/scan

 

工作原理GBS光學輪廓儀采用白光干涉(WLI)技術,利用寬光譜光源的短相干特性,通過干涉條紋對比度分析樣品表面高度信息。測量時,參考鏡沿Z軸移動,相機記錄干涉信號,計算每個像素點的最佳干涉位置,最終重建三維形貌。

 

四、產品特點

1高分辨率測量垂直分辨率可達亞納米級,橫向分辨率達微米級,適合微觀形貌分析。

2快速掃描與拼接高速相機結合并行計算,單次掃描僅需13秒,支持大面積自動拼接。

3適應不同表面可測量鏡面、漫反射面及高斜率表面,通過算法優化提升信號捕捉能力。

4模塊化設計物鏡轉塔、自動化選項等可靈活配置,適應不同應用需求。

5抗振動優化優化的掃描算法降低環境振動影響,提高測量穩定性。

 

五、應用領域

1精密制造 測量機械零件、刀具、模具的表面粗糙度、磨損及加工紋理。

2半導體與MEMS檢測晶圓、微機電系統的臺階高度、薄膜厚度及結構形貌。

3光學元件分析非球面、自由曲面及衍射光學元件的面形誤差(非超光滑表面)。

4材料研究 研究涂層、復合材料、生物材料的表面特性及摩擦磨損行為。

5質量控制檢測產品表面缺陷、劃痕、顆粒污染及幾何尺寸偏差。

 

六、總結

GBS光學輪廓儀憑借白光干涉技術的高分辨率和快速測量能力,在工業檢測、科研及質量控制領域具有廣泛應用。不同型號可滿足從實驗室研究到自動化產線檢測的多樣化需求。


 
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